如上图所示,提高数值孔径 (NA🇫🇲🤓) 可以减少光💙🍂刻工艺中的掩模步骤,🕗🐓。
知识获取的成本🇧🇹趋近于零,意味着🦎以知识😑🤺储量为壁垒的。
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如上图所示,提高数值孔径 (NA🇫🇲🤓) 可以减少光💙🍂刻工艺中的掩模步骤,🕗🐓。
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